技術(shù)文章
雜散光的來源
產(chǎn)生雜散光的原因很多, 其最主要的原因大致有以下9 個(gè)方面:
① 灰塵沾污光學(xué)元件( 如光柵、棱鏡、透鏡、反射鏡、濾光片等)。
② 光學(xué)元件被損傷, 或光學(xué)元件產(chǎn)生的其他缺陷( 如光柵、透鏡、反射鏡、棱鏡材料中的氣泡等)。
③ 準(zhǔn)直系統(tǒng)內(nèi)部或有關(guān)隔板邊緣的反射。
④ 光學(xué)系統(tǒng)屏蔽不好。
⑤ 熱輻射或熒光引起的二次電子發(fā)射。
⑥ 狹縫的缺陷。
⑦ 光束孔徑不匹配。
⑧ 光學(xué)系統(tǒng)的像差。
⑨ 單色器內(nèi)壁黑化處理不當(dāng)。
以上9 個(gè)方面中, 光柵是雜散光的主要來源。它產(chǎn)生的雜散光占總雜散光的80%以上。